泄漏檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域有多種方法可檢測(cè)不同泄漏量的漏隙，如氣泡檢漏、鹵素檢漏、壓力變化檢漏、氦質(zhì)譜檢漏等，氦質(zhì)譜檢漏具有適應(yīng)范圍廣、定位定量準(zhǔn)確、無(wú)毒、安全、反應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)，因此對(duì)泄漏量在10- 6 Pa·m3/s 以下的微小漏隙，目前比較廣泛采用氦質(zhì)譜檢漏方法。